无尘车间之所以在设计和建设之初很大，是因为在设计和工厂建设时走捷径，忽视了后期的运行费用，尽量压缩了前期的投入。 高效的设计和高效的设备需要很大的前期投入。 这样“在小地方节约大的浪费”的捷径和成本削减，会降低工厂的运转性能和增加能源消耗。
高效利用能源的例子很多。 挖掘无用的能源比卖产品更能增加利润。 节约的钱很快就会在最终的利润中出现。 虽然能源成本占芯片产品成本的不到2%，但电力是芯片制造商运行中支出最大的，各工厂每年要消耗数百万美元的电力。 在新建无尘车间时，节能措施可以节约资本和建设时间。 初步的设计报价很贵，但经济改建的可能性依然存在。 设备维修的投资回收期在2年以下，总体上投资回收率在一定程度上较高。