无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则：
1.不携入在无尘室内不携入微粒子的方法有：1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；
2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。
4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
2.不发生 在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策：
1）减少接触剥离发尘的动作形态；
2）采用磨耗发尘小的材质；
3）采用发尘小的润滑油；
4）机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
3.不储备 若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。 无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。 在最高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。 控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。 无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。
4.洁要求
（1）、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）、用90％去离子水和10％的异丙醇配置清洁剂；
（3）、使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
（8）、所有的门都需要检查并擦干
（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）、架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）、工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
