电子厂净化工程|洁净室解决方案
电子厂净化工程定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
电子厂净化工程亦名无尘室或洁净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。
电子厂净化工程一般包括:
1、洁净生产区
2、洁净辅助间(包括人员洁净室、物料洁净室和部分生活用室等)
3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
电子厂净化工程净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程,即可达到净化目的。
电子厂净化工程净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥35次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
温度45-65%;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
车间1
车间2
溅射间
刻蚀间
制版间